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干涉儀是很***的一類實驗技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學 (Thompson et al, 2001) [1], 光學, 工程測量, 海洋學, 地震學, 波譜分析, 量子物理實驗, 遙感, 雷達等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為利用多普勒效應(yīng),計數(shù)器計頻率差的變化,不受激光強度和磁場變化的影響。昆山本地雙頻激光干涉儀單價
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。常熟定制雙頻激光干涉儀五星服務(wù)干涉圖樣分析:通過觀察干涉條紋的變化,可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)
(1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應(yīng),計數(shù)器計頻率差的變化,不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以擴展;
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經(jīng)反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經(jīng)過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過玻璃板的次數(shù)相等,兩束光在到達觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現(xiàn)為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數(shù) N 的關(guān)系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。昆山通用雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測量、材料科學、光學研究、工程檢測等領(lǐng)域。昆山本地雙頻激光干涉儀單價
(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。昆山本地雙頻激光干涉儀單價
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