(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較好精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。起初用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。常熟新款雙頻激光干涉儀單價
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應用太倉通用雙頻激光干涉儀產品介紹即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性5. 全套系統(tǒng)重量*15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調整步驟,減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性等。
激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現(xiàn)高精度線性位移測量,適用于車間生產環(huán)境下的數(shù)控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能,支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]:1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月,典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒,頻差為7±0.5MHz [2]。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,廣泛應用于傳感器、通信等領域。
環(huán)境適應力強:雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用,也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應用領域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機械),也可對手表零件等微米級運動進行測量。干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現(xiàn)象的儀器,利用干涉原理來分析波的特性。相城區(qū)直銷雙頻激光干涉儀哪家好
光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。常熟新款雙頻激光干涉儀單價
若干涉條紋發(fā)生移動,一定是場點對應的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動鏡,它和精密螺絲相連,轉動鼓輪可以使其向前后方向移動,最小讀數(shù)為10mm,可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強度相等的兩束(反射光和透射光)。常熟新款雙頻激光干涉儀單價
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