除了熱輻射，電子設備在出現(xiàn)故障或異常時，還可能伴隨微弱的光發(fā)射增強。熱紅外顯微鏡搭載高靈敏度的光學探測器，如光電倍增管（PMT）或電荷耦合器件（CCD），能夠有效捕捉這些低強度的光信號。這類光發(fā)射通常源自電子在半導體材料中發(fā)生的能級躍遷、載流子復合或其他物理過程。通過對光發(fā)射信號的成像和分析，熱紅外顯微鏡不僅能夠進一步驗證熱點區(qū)域的存在，還可輔助判斷異常的具體機制，為故障定位和性能評估提供更精確的信息。熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測，保障元件完整性 。檢測用熱紅外顯微鏡用戶體驗

從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到熱紅外顯微鏡的演變，是其技術團隊對微觀熱分析需求的深度洞察與持續(xù)創(chuàng)新的結果。它既延續(xù)了通過紅外熱輻射解析熱行為的原理，又通過全尺度觀測、高靈敏度檢測、場景化分析等創(chuàng)新，突破了傳統(tǒng)技術的邊界。如今，這款設備已成為半導體失效分析、新材料熱特性研究、精密器件研發(fā)等領域的專業(yè)工具，為行業(yè)在微觀熱管控、缺陷排查、性能優(yōu)化等方面提供了更高效的技術支撐，推動微觀熱分析從 “可見” 向 “可知”“可控” 邁進。顯微熱紅外顯微鏡設備半導體芯片內(nèi)部缺陷定位是工藝優(yōu)化與失效分析的關鍵技術基礎。

致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng)，創(chuàng)新實現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設計，搭配靈活可選的制冷/非制冷模式，可根據(jù)您的實際需求定制專屬配置方案。這套設備的優(yōu)勢在于一體化集成能力：只需一套系統(tǒng)，即可同時搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設計省去了多設備切換的繁瑣，更通過硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能，讓您在同一平臺上輕松完成多波段觀測任務。相比單獨購置多套設備，該集成系統(tǒng)能大幅降低采購與維護成本，在保證檢測精度的同時，為實驗室節(jié)省空間與預算，真正實現(xiàn)性能與性價比的雙重提升。

非破壞性分析（NDA）以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結構和性能，無需切割、拆解或化學處理，能保留樣品完整性，為后續(xù)研究留有余地，在高精度、高成本的半導體領域作用突出。

無損分析，通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像，全程無接觸，無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中，可識別晶圓晶體缺陷；封裝階段，能檢測焊接點完整性或封裝層粘結質量；失效分析時，可定位內(nèi)部短路或斷裂區(qū)域的隱性熱信號，為根源分析提供依據(jù)，完美適配半導體行業(yè)對高價值樣品的保護需求。 熱紅外顯微鏡通過 AI 輔助分析，一鍵生成熱譜圖，大幅提升科研與檢測效率。

通過大量海量熱圖像數(shù)據(jù)，催生出更智能的數(shù)據(jù)分析手段。借助深度學習算法，構建熱圖像識別模型，可快速準確地從復雜熱分布中識別出特定熱異常模式。如在集成電路失效分析中，模型能自動比對正常與異常芯片的熱圖像，定位短路、斷路等故障點，有效縮短分析時間。在數(shù)據(jù)處理軟件中集成熱傳導數(shù)值模擬功能，結合實驗測得的熱數(shù)據(jù)，反演材料內(nèi)部熱導率、比熱容等參數(shù)，從熱傳導理論層面深入解析熱現(xiàn)象，為材料熱性能研究與器件熱設計提供量化指導。熱紅外顯微鏡可用于研究電子元件在不同環(huán)境下的熱行為 。科研用熱紅外顯微鏡用途

熱紅外顯微鏡對集成電路進行熱檢測，排查內(nèi)部隱藏故障 。檢測用熱紅外顯微鏡用戶體驗

在國內(nèi)失效分析設備領域，專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對較少，尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域，具備自主技術積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術，也受限于市場需求的專業(yè)化程度，導致多數(shù)企業(yè)傾向于代理或集成方案。

致晟光電正是國內(nèi)少數(shù)深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝，其從中樞技術迭代入手，在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡，形成從光學系統(tǒng)設計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內(nèi)半導體、材料等行業(yè)的失效分析需求，例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產(chǎn)新材料的熱特性研究等場景，提供更貼合實際應用的設備與技術支持，成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。 檢測用熱紅外顯微鏡用戶體驗