吉田半導體 JT-3001 厚板光刻膠:歐盟 RoHS 認證,PCB 電路板制造
憑借抗深蝕刻性能與環(huán)保特性,吉田 JT-3001 厚板光刻膠成為 PCB 行業(yè)材料。
吉田半導體推出的 JT-3001 厚板光刻膠,分辨率達 1.5μm,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,適用于高密度電路板制造。產(chǎn)品通過歐盟 RoHS 認證,采用無鹵無鉛配方,符合環(huán)保要求。其優(yōu)異的感光度與留膜率,確保復雜線路圖形的成型,已應用于華為 5G 基站主板量產(chǎn)。公司提供從材料選型到工藝優(yōu)化的全流程支持,助力客戶提升生產(chǎn)效率與良率。
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在半導體材料領域,廣東吉田半導體材料有限公司憑借 23 年技術沉淀,已成為國內(nèi)光刻膠行業(yè)的企業(yè)。公司產(chǎn)品線覆蓋正性、負性、厚膜、納米壓印等多類型光刻膠,廣泛應用于芯片制造、LCD 顯示、PCB 電路板等領域。
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技術:自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品具備高分辨率(如 JT-3001 厚板光刻膠)、高感光度(如 JT-1000 負性光刻膠)及抗深蝕刻性能,部分指標達到水平。
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嚴苛品控:生產(chǎn)過程嚴格遵循 ISO9001 體系,材料進口率 100%,并通過 8S 現(xiàn)場管理確保制程穩(wěn)定性。
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定制化服務:支持客戶需求定制,例如為特殊工藝開發(fā)光刻膠,滿足多樣化場景需求。
公司位于松山湖開發(fā)區(qū),依托產(chǎn)業(yè)園區(qū)資源,持續(xù)加大研發(fā),與科研機構合作推動技術升級。目前,吉田半導體已服務全球數(shù)千家客戶,以 “匠心品質(zhì)、售后無憂” 的理念贏得市場口碑。
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原料準備
主要成分:樹脂(成膜劑,如酚醛樹脂、聚酰亞胺等)、感光劑(光引發(fā)劑或光敏化合物,如重氮萘醌、光刻膠單體)、溶劑(溶解成分,如丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA))、添加劑(調(diào)節(jié)粘度、感光度、穩(wěn)定性等,如表面活性劑、穩(wěn)定劑)。
原料提純:對樹脂、感光劑等進行高純度精制(純度通常要求99.9%以上),避免雜質(zhì)影響光刻精度。
配料與混合
按配方比例精確稱量各組分,在潔凈環(huán)境,如萬中通過攪拌機均勻混合,形成膠狀溶液。
控制溫度(通常20-30℃)和攪拌速度,避免氣泡產(chǎn)生或成分分解。
過濾與純化
使用納米級濾膜(孔徑0.05-0.2μm)過濾,去除顆粒雜質(zhì)(如金屬離子、灰塵),確保膠液潔凈度,避免光刻時產(chǎn)生缺陷。
性能檢測
物理指標:粘度、固含量、表面張力、分子量分布等,影響涂布均勻性。
化學指標:感光度、分辨率、對比度、耐蝕刻性,通過曝光實驗和顯影測試驗證。
可靠性:存儲穩(wěn)定性(常溫/低溫保存下的性能變化)、耐溫性(烘烤過程中的抗降解能力)。
包裝與儲存
在惰性氣體(如氮氣)環(huán)境下分裝至避光容器(如棕色玻璃瓶或鋁罐),防止感光劑氧化或光分解。
儲存條件:低溫(5-10℃)、避光、干燥,部分產(chǎn)品需零下環(huán)境(如EUV光刻膠)。
光刻膠(Photoresist)是一種對光敏感的高分子材料,主要用于光刻工藝中,通過光化學反應實現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移,是半導體、集成電路(IC)、印刷電路板(PCB)、液晶顯示(LCD)等制造領域的材料之一。
光刻膠特性與組成
光敏性:在特定波長(如紫外光、極紫外光EUV等)照射下,會發(fā)生化學結(jié)構變化(如交聯(lián)或分解),從而改變在顯影液中的溶解性。
主要成分:
樹脂(成膜劑):形成基礎膜層,決定光刻膠的機械和化學性能。
光敏劑:吸收光能并引發(fā)化學反應(如光分解、光交聯(lián))。
溶劑:調(diào)節(jié)粘度,便于涂覆成膜。
添加劑:改善性能(如感光度、分辨率、對比度等)。
負性光刻膠的工藝和應用場景。
應用場景
半導體集成電路(IC)制造:
邏輯芯片(CPU/GPU):在28nm以下制程中,正性DUV/EUV膠用于晶體管、互連布線的精細圖案化(如10nm節(jié)點線寬只有100nm)。
存儲芯片(DRAM/NAND):3D堆疊結(jié)構中,正性膠用于層間接觸孔(Contact)和柵極(Gate)的高深寬比圖形(深寬比>10:1)。
平板顯示(LCD/OLED):
彩色濾光片(CF):制作黑矩陣(BM)和彩色層(R/G/B),要求高透光率和邊緣銳利度(線寬5-10μm)。
OLED電極:在柔性基板上形成微米級透明電極,需低應力膠膜防止基板彎曲變形。
印刷電路板(PCB):
高密度互連(HDI):用于細線路(線寬/線距≤50μm),如智能手機主板,相比負性膠,正性膠可實現(xiàn)更精細的線路邊緣。
微納加工與科研:
MEMS傳感器:制作微米級懸臂梁、齒輪等結(jié)構,需耐干法蝕刻的正性膠(如含硅樹脂膠)。
納米光刻:電子束光刻膠(正性為主)用于研發(fā)級納米圖案(分辨率<10nm)。
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LCD顯示
彩色濾光片(CF):
黑色矩陣(BM)光刻膠:隔離像素,線寬精度±2μm,透光率<0.1%。
RGB色阻光刻膠:形成紅/綠/藍像素,需高色純度(NTSC≥95%)和耐光性。
陣列基板(Array):
柵極絕緣層光刻膠:用于TFT-LCD的柵極圖案化,分辨率≤3μm。
OLED顯示(柔性/剛性)
像素定義層(PDL)光刻膠:在基板上形成有機發(fā)光材料的 confinement 結(jié)構,線寬精度±1μm,需耐溶劑侵蝕(適應蒸鍍工藝)。
觸控電極(如ITO/PET):通過光刻膠圖形化實現(xiàn)透明導電線路,線寬≤5μm。
Mini/Micro LED
巨量轉(zhuǎn)移前的芯片制備:使用高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)定義微米級LED陣列,良率要求>99.99%。
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