通過(guò)高壓產(chǎn)生電子流達(dá)到X光管中靶材產(chǎn)生初級(jí)X光，初級(jí)X光經(jīng)過(guò)過(guò)濾和聚集射入到待測(cè)樣品產(chǎn)生次級(jí)X射線(xiàn)，也就是通常說(shuō)的X熒光，X熒光被探測(cè)器探測(cè)到后經(jīng)過(guò)放大，數(shù)模轉(zhuǎn)換輸入到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)最后通過(guò)計(jì)算，才能得出測(cè)試樣品的結(jié)果。